真空系統按真空區域可分為：中、低真空系統，高真空系統，超高、極高真空系統。它們由不同的主泵、輔助系及其它相應的真空零(部)件組成。中、低真空系統由機械泵或機械泵加羅茨泵組成，為防止油污染，還可加入分子篩阱，但在操作時要防止分子篩固體顆粒吸入機械泵中。高真空系統主要由擴散泵、障板、冷阱、插板閥和機械泵等組成，主泵也可用渦輪分子泵或低溫泵。為進一步減少油污染，可用濺射離子泵與鈦升華泵和低溫障板一起構成一臺無油高真空抽氣機組，其前級用吸附泵粗抽。超高和極高真空系統最重要的標志是清潔度高，只要采用高性能的離子泵、低溫泵、渦輪分子泵和冷阱等，就可實現超高和極高真空。 獲取真空，靠真空系統的抽氣來完成。根據所要求的真空度和清潔度，采用不同的真空系統。

各種真空系統的啟動、停機、操作過程及產生故障時對污染的防護都有嚴格要求，必須遵守操作規程。比如，機械泵只能抽15Pa—20Pa或更高的壓力，否則反流污染嚴重;擴散泵在正常工作前和停泵20min內油蒸氣污染很大，故不得與真空室或冷阱相通;停機時冷阱要在與真空室隔離、排除液氮并回溫后方可停止高真空泵;吸附泵應有防壓力爆破裝置，以防回溫后產生事故;要防止分子篩吸附阱中的分子篩及其固體粉末吸入機械泵。